苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司-公司简介

一、基本情况

苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司作为国资100%控股，是国家高新技术企业，江苏省瞪羚企业，同时也是苏州市科技公共服务平台。公司主要聚焦于MEMS（英文：Micro Electro Mechanical System，微机电系统）产业链中试环节，以目标产品为导向，满足MEMS中小企业工艺研发和小批量生产的需求，开展产品委托研发等各项业务。MEMS中试量产平台是国内首个商业化运作的6英寸MEMS器件研发、中试和批量化生产基地，开展包括硅基MEMS、以及氮化镓等三代半产品工艺研发、中试、量产服务，主要业务有：

（一）产品委托研发

对工艺研发能力不强、需要利用平台产品研发能力的企业（主要为MEMS设计类型企业），开展产品委托研发，完成产品的设计、样品，直至最终合格产品实现。

（二）中试工艺研发

针对有小批量生产需求并已经有产品原型的客户，该业务将为企业客户提供工艺流程设计，流片和产品的设计优化以使得该客户的产品可以在平台的MEMS线上顺利生产。

（三）6英寸MEMS代加工及封装

针对已经在平台开展前两项服务后的客户，该业务将充分利用平台的标准工艺流程以及前两项服务的成果开展小批量生产

（四）代工工艺转移

针对产品已经实现小批量量产的客户开展生产工艺和所有相关技术的转移来确保客户产品在平台的代工厂合作伙伴中开展批量生产。

（五）产品检测

中试线提供最终产品的可靠性分析、检测服务。

（六）专业服务

对租用超净间的客户提供专业的供气、供液和环安卫等专业服务。

（七）工艺技术人员培训

平台联合中半协MEMS分会联合成立微系统产业高技能人才公共实训基地，以公共、开放、先进为指向，致力于发挥产业公共平台的公益性优势，为企业和院校培养产业一线急需高技能人才提供公共服务。

（八）为企业提供IP授权及知识产权保护

平台不断创新专业服务，示范辐射全国效应持续加强。在国家知识产权局直接推动和指导下，聚焦MEMS产业开展专利导航和运营服务 ，建成了可检索全球MEMS技术专利的“MEMS产业专利导航综合服务平台”，为多家MEMS企业开展专利微导航专项工作，探索形成了企业微导航工作机制，并依托MEMS分会推广知识产权业务。

公司产品涉及麦克风、压力、微镜、气体流量、热电堆、磁传感、滤波器等器件，目前“MEMS工艺研发及代工服务”在国内MEMS公共服务平台中占有率超过25%，全国行业排名第一 。公司服务已辐射到全国各地，服务定位和品质获得高度认可。很多企业正是在平台的帮助下，得以将产品推向市场，中国第一个3D喷墨打印头、MEMS微镜、高温高精度压力传感器等解决卡脖子技术的重大产品均出自平台。

二、建设基础

公司拥有超净间3000平方米，其负责运营的6英寸MEMS中试平台以市场化、全开放的运作模式，提供高效的一站式服务，专业专注中试研发和中小规模生产服务，具备灵活开放的研发机制，同时以代工厂的规范运作模式保证生产品质，并形成完善的客户知识产权保护体系。

（一）厂务设施

公司厂务设施可兼容6寸和8寸功能需求，提供洁净等级分为10级、100级、1000级。主要包括大宗气体整套系统、纯废水整套系统、特气化学品整套系统、机电工程和洁净工程。

（二）专业设备

现有专业半导体设备近200余台，主要为主流MEMS研发、量产机台，比如涂胶显影机台、深硅刻蚀机、光刻机、离子注入机、多晶硅干法刻蚀机、磨片机、PZT溅射机等。

（三）服务能力

平台以晶圆制造厂的管理方式运作，制定专业的规章制度1200多项。先后通过ISO9001和IATF 16949质量管理体系、ISO14001环境管理体系、ISO45001职业健康安全体系以及GB/T 29490知识产权体系认证，具备车载MEMS芯片的开发条件,具备ISO27001信息安全管理体系认证条件。

平台拥有专业的技术团队，平均从业经验9年以上，骨干成员大多曾服务于英特尔、台积电、和舰、中芯国际等知名的芯片制造企业。平台实行技术+管理双职级管理系统，通过设置不同上升通道拓宽员工的职业选择，为技术研究深入化打下坚实基础。

三、发展规划

公司在MEMS领域的产业实践深耕已有10年，工艺积累、中试转量产能力、技术团队和客户群体已具备一定的成绩。从整体产业链看，代工线是MEMS关键的环节。它决定着设计企业的产品实现，甚至帮助产品设计优化。优秀的中试平台能够吸引一大批设计公司围绕在它的周围，形成较好的产业集聚和集群。

在政策层面上，国家和园区政府在MEME产业的政策和集群化发展给予了充分支持。伴随着国内通讯5G牌照的发放，5G网络的建设与运用，对半导体制造业提出了许多新的需求，特别是大量传感器类芯片的应用，为MEMS制造打来了巨大的市场空间。围绕着5G网络功能（大通量、低延时、万物互联）的逐步实现，一大批新型高技术半导体制造企业（特别是MEMS领域）将因运而生。